Difluorosilan | |
Structura difluorosilanului | |
Identificare | |
---|---|
N o CAS | |
PubChem | 123331 |
ZÂMBETE |
F [SiH2] F , |
InChI |
Std. InChI: InChI = 1S / F2H2Si / c1-3-2 / h3H2 Std. InChIKey: PUUOOWSPWTVMDS-UHFFFAOYSA-N |
Aspect | gaz incolor |
Proprietăți chimice | |
Formulă | SiH 2 F 2 |
Masă molară | 68,0982 ± 0,0004 g / mol H 2,96%, F 55,8%, Si 41,24%, |
Proprietăți fizice | |
T ° fuziune | −122 ° C |
T ° fierbere | −77,8 ° C |
Masa volumică | 2,783 g · L -3 |
Unități de SI și STP, cu excepția cazului în care se prevede altfel. | |
Difluorosilane este un compus chimic cu formula SiH 2 F 2. Apare ca un gaz incolor cu un punct de fierbere de -77,8 ° C , cel mai mare dintre fluorosilani. Se descompune la temperaturi de peste aproximativ 450 ° C pentru a forma trifluorosilane SiHF 3, tetrafluorură de siliciu SiF 4 precum și alți compuși.
Difluorosilanul poate fi obținut prin reacția diclorosilanului SiH 2 Cl 2cu trifluorură de antimoniu SbF 3 :
3 SiH 2 Cl 2+ 2 SbF 3⟶ 3 SiH 2 F 2+ 2 SbCl 3.Această reacție eliberează și tetrafluorură de siliciu SiF 4cu hidrogen H 2.
Supuși unui arc electric , atomii de hidrogen sunt de preferință îndepărtați din molecula SiH 2 F 2, care eliberează hidrogen H 2oferind 1,1,2,2-tetrafluorodisilan F 2 HSi - SiHF 2 :
2 SiH 2 F 2⟶ SiHF 2 SiHF 2+ H 2.La temperaturi ridicate, difluorosilanul poate fi disproporționat schimbând un atom de hidrogen și un atom de fluor între două molecule, rezultând fluorosilan SiHF 3și trifluorosilane SiHF 3.
Difluorosilanul poate fi utilizat cu amoniac NH 3pentru depunerea chimică prin vapori ( CVD ) a peliculelor subțiri de nitrură de siliciu Dacă 3 N 4.