Microfabricatie este setul de tehnică de fabricație pentru producerea de dispozitive cu structuri de ordinul micrometri și mai jos.
În general, se face distincția între tehnicile microelectronice și derivații săi, utilizate de exemplu pentru fabricarea cipurilor electronice , a microsistemelor și a diodelor laser și a altor tehnici care derivă din tehnicile tradiționale de prelucrare .
Pentru tehnicile de fabricație derivate din microelectronică, napolitanele din siliciu sunt utilizate în general ca substrat. Dispozitivul este apoi structurat printr-o succesiune de pași de depunere și modelare prin fotolitografie și gravare uscată sau umedă.
Unele companii, cum ar fi Alvéole (companie), utilizează fotolitografia pe rășini fotosensibile (exemplu: SU-8 ) pentru a crea microstructuri.
De la începutul anilor 2000, tehnica de polimerizare cu doi fotoni le - a permis cercetătorilor și apoi companiilor să dezvolte mașini de microfabricare 3D, făcând posibilă producerea de structuri de foarte mare complexitate. producerea de piese în mișcare, deci relativ desprinse de substrat, care se obține în general prin utilizarea unui strat de sacrificiu.